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產品列表 / products

日本ULVAC CFB-650Z脂潤滑分子泵技術資料

更新時間:2015-12-28 點擊量:1578

日本ULVAC CFB-650Z脂潤滑分子泵 一、產品簡介

        CFB-Z系列脂潤滑分子泵其葉輪采用國內*的變截面葉齒,軸承采用脂潤滑陶磁精密軸承,以更高的可靠性實現了泵的任意角度安裝和清潔無油的高真空環境,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

 

日本ULVAC CFB-650Z脂潤滑分子泵 二、產品特點

        

  • 由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
  • 軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承,可以實現泵的任意角度安裝。

 

日本ULVAC CFB-650Z脂潤滑分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-650Z

進氣口法蘭

LF160

CF150

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

650

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

3×10-6

2×10-7  

電機轉速

rpm

24000

振動值

μm

≤0.1

啟動時間

min

<5

使用軸承

脂潤滑陶瓷軸承

前極泵

L/s

4-8

冷卻方式

水冷

冷卻水溫度

≤25

環境溫度

<40

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

任意角度

重量

kg

~26

 


四、特性曲線及安裝尺寸

 

CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線

 CFB-650Z安裝尺寸

型號規格

CFB-650Z

高真空法蘭

LF160

CF150

D1

Ф180

Ф202

D2

Ф236

Ф236

D3

212

212

L1

112

112

H1

308

308

H2

248.5

248.5

H3

92

92

H4

224.5

224.5

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